石英玻璃的膨脹系數極小，相當于普通玻璃的1/12-1/20，透明和不透明石英玻璃分別在1200℃，1100℃作急冷急熱實驗；不同溫度下，石英玻璃的膨脹系數見圖。在0-1000度范圍內，石英玻璃的膨脹系數是5.4*10-7/℃；摻鈦8%的石英玻璃膨脹系數在0-200℃幾乎為零。
